A4 Baureihe

Die A4 Baureihe zeichnet sich durch einen äußerst energieeffizienten Motor mit variablem Drehzahlantrieb aus, dank dem die Vakuumpumpen ihre Drehzahl flexibel an individuelle Prozessanforderungen anpassen können. Außerdem verfügt sie über einen Energiesparmodus, der sicherstellt, dass die Vakuumpumpe zwischen den Prozessschritten und bei Nichtgebrauch mit niedrigster Drehzahl läuft. Diese Eigenschaften führen zu erheblichen Energieeinsparungen.

Dank fortschrittlicher Überwachungsfunktionen, die den Zustand der Vakuumpumpe in Echtzeit verfolgen, können verschiedene Betriebsparameter der A4 Baureihe wie Vibrationsniveau, Druck und Kondensaterkennung auf einer mitgelieferten Hand-Fernbedienung mit Display abgerufen werden. Dies ermöglicht vorbeugende Wartung und reduziert Stillstandszeiten.

Eine integrierte Heiß-Stickstoff-Einspeisung am Auspuff der A4 Vakuumpumpen verbessert die Betriebssicherheit sowie Effizienz und sorgt für eine gezielte Verdünnung entflammbarer Gase. Druck- und Durchflussregler überwachen kontinuierlich die Stickstoffversorgung und warnen bei Abweichungen. Das Risiko von Ablagerungen und Kondensatbildung kann reduziert und so eine Verstopfung der Abluftleitung, die sonst zu Explosionen führen könnte, wirksam verhindert werden.

Darüber hinaus bieten die mehrstufigen A4 Roots-Vakuumpumpen fortschrittliche Temperaturüberwachungsfunktionen. Integrierte Heizgeräte halten diese Vakuumpumpen auf einer festgelegten Temperatur, wodurch Kondensation und unerwünschte chemische Reaktionen verhindert werden, sodass eine gleichbleibende Prozessqualität gewährleistet ist. Eingebaute thermische Sicherheitsfunktionen schalten die Stromversorgung ab, wenn die Gehäusetemperatur der Vakuumpumpe 100 °C übersteigt, um eine Überhitzung und mögliche Beschädigung der Vakuumpumpe zu vermeiden.

In der A4 Baureihe sind drei verschiedene Ausführungen mit unterschiedlicher Korrosionsbeständigkeit verfügbar:

Die A4H Vakuumpumpen sind auf mittelschwere Prozesse in der Halbleiter- und Beschichtungsindustrie wie die Dünnschichtabscheidung für Solarzellen ausgelegt. Mit grundlegendem Korrosionsschutz bieten sie eine verbesserte Partikelverträglichkeit, verhindern Schäden an empfindlichen Vakuumpumpenbauteilen und gewährleisten eine robuste Performance für diese Prozessarten.

In rauen Halbleiterprozessen, zum Beispiel bei Anwendungen zum Ätzen von Leitern und Polysilizium, ist die A4X Ausführung korrosionsbeständig und bietet zuverlässige trockene Pumplösungen. Durch spezielle Materialien, die die Rotoren vor Korrosion schützen, bietet sie einen höheren Korrosionsschutz als die A4H Vakuumpumpen.

Die A4XN Ausführung eignet sich ideal für äußerst korrosionsgefährdete Anwendungen wie die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder Atomlagenabscheidung (ALD). Die von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions entwickelte XN-Nickel-Beschichtungstechnologie schützt alle Teile der Vakuumpumpe, die mit korrosiven Gasen in Kontakt kommen. Dies verlängert ihre Lebensdauer selbst in anspruchsvollsten Anwendungen erheblich.