Veuillez mettre à jour votre navigateur. Il semble que vous utilisez une ancienne version du navigateur Microsoft Edge. Veuillez mettre à jour votre navigateur pour profiter au maximum du site Internet de Pfeiffer.

Contact Portail client
Belgique
ath4506_cropped

La nouvelle pompe turbomoléculaire ATH 4506 M. Source : Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions lance la nouvelle pompe turbomoléculaire ATH 4506 M.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, membre du Busch Group, élargit sa gamme de pompes à vide turbomoléculaires avec l’ATH 4506 M, le plus grand modèle de la série ATH-M.

Avec une vitesse de pompage de 4 500 l/s pour l’azote, la nouvelle pompe turbomoléculaire convient aux procédés de fabrication de semi-conducteurs, au revêtement de grandes surfaces et à d’autres applications nécessitant un débit de gaz élevé, telles que l’évacuation de grandes chambres sous vide pour la simulation spatiale.

Fonctionnement Plug & Play avec contrôleur intégré

L’ATH 4506 M intègre un contrôleur, éliminant ainsi le besoin d’unités de commande externes séparées. Cette conception simplifie l’installation et réduit l’espace nécessaire dans la configuration du système. La pompe à vide atteint sa vitesse de rotation maximale de 23 500 tours par minute (tr/min) en seulement neuf minutes, permettant de démarrer rapidement les procédés de fabrication. Pendant les périodes d’inactivité, un mode veille réduit la consommation électrique, contribuant ainsi à un fonctionnement économe en énergie.

Gestion de la température adaptée aux besoins du procédé

Selon les conditions du procédé, différentes températures de fonctionnement sont nécessaires. C’est pourquoi l’ATH 4506 M est disponible en deux versions :

  • Une version non chauffée pour les applications propres et non corrosives où un chauffage supplémentaire n’est pas nécessaire, comme le revêtement de grandes surfaces.
  • Une version avec un système de gestion de la température (TMS) jusqu’à 90 °C pour la fabrication de semi-conducteurs et d’autres procédés corrosifs où un chauffage modéré empêche la condensation et la formation de particules.

En adaptant la température de la pompe à vide au procédé, l’ATH 4506 M, minimise la condensation et l’accumulation de particules à l’intérieur de la pompe, réduit l’usure des composants internes et évite les temps d’arrêt imprévus. Cela se traduit par une plus grande fiabilité, une qualité des produits constante et un coût total de propriété plus faible pour l’utilisateur.

Contrôle d'état et intégration numérique

L’ATH 4506 M est équipé de capteurs internes qui assurent la surveillance de la température, des conditions de purge, de la vitesse de rotation et du mouvement hors axe. Ces mesures permettent aux opérateurs de suivre en temps réel l’état de la pompe à vide, facilitant la détection précoce des irrégularités. Cela permet d’éviter les temps d’arrêt imprévus et favorise la maintenance prédictive. La pompe à vide étant compatible avec l’IoT, elle peut être connectée à des systèmes de surveillance numérique, ce qui permet de l’intégrer dans des environnements de production automatisés.

Avec une protection IP54, la pompe à vide est protégée contre la poussière et les éclaboussures d’eau. Cela augmente sa résilience dans les environnements industriels exigeants et prolonge le cycle de service.