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O novo acelerador de vácuo multiestágio UltiDry. Fonte: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.

A Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions apresenta os aceleradores de vácuo multiestágio UltiDry

A Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, membro do Busch Group global, apresenta os novos aceleradores de vácuo multiestágio UltiDry. Projetado para aplicações de semicondutores exigentes, o UltiDry combina desempenho robusto com alta eficiência energética e flexibilidade de processo.

As bombas de vácuo do UltiDry são projetadas para resistir a gases corrosivos, subprodutos agressivos e cargas pesadas de pó. Sua compressão multiestágio sem óleo garante uma geração de vácuo limpo e seco sem contaminação, tornando-as ideais para processos como deposição química de vapor (CVD), deposição de camada atômica (ALD) e deposição física de vapor (PVD).

Sistema de purga patenteado e economia significativa de energia

Uma das principais inovações do UltiDry é seu sistema patenteado de injeção de purga, desenvolvido para proteger a bomba de vácuo, eliminando contaminantes como pó. Esse recurso garante desempenho estável e operação suave, mesmo em processos que envolvem muito pó.

O consumo de energia é um fator de custo importante nas fábricas de semicondutores. Com seu design de impulsionador/acelerador multiestágio otimizado, o UltiDry oferece economias de energia de até 87% em comparação com outras bombas de vácuo de sua classe. Isso não só reduz a pegada de carbono, mas também ajuda os clientes a alcançarem suas metas de sustentabilidade e eficiência de custos.

A bomba de vácuo opera de forma confiável em uma ampla faixa térmica de 50 °C a 270 °C, adaptando-se de maneira flexível aos diferentes requisitos do processo. Isso faz com que ela seja igualmente adequada para processos de revestimento sensíveis à temperatura, bem como para aplicações corrosivas de semicondutores. Ao manter uma operação estável em condições de temperatura variáveis, o UltiDry garante uma qualidade consistente do produto e longos intervalos de manutenção. A combinação de um revestimento resistente à corrosão, uso reduzido de gás de purga e alta eficiência energética fazem do UltiDry uma solução durável e de baixa manutenção para ambientes de fabricação exigentes.