Alto desempenho
Design avançado do parafuso, qualidade excelente de execução, acelerador de vácuo integrado, excelente capacidade de manuseio de pó, perfeitamente adequada para aplicações de semicondutores, produção de telas planas e aplicações de energia solar
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, intervalos longos de serviço, alta disponibilidade, refrigeração a água eficiente e indireta, alto rendimento de hidrogênio, controle de temperatura variável, baixo nível de vibração
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, painel de controle integrado, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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Poli etch Si
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PECVD
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Decapagem de metal e alto K
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ALD
Solar
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Fabricação de células
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Extração de lingotes