Seguro
Quimiossorção permanente combinada com o design de absorvedor patenteado
Eficiente
Baixo consumo de meios, vida útil do granulado otimizado
Sem manutenção
Requisitos de manutenção extremamente baixos graças à ausência de peças móveis
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Indústria química
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Vácuo para laboratórios
Área médica
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Vácuo para laboratório
Farmacêutica e biotecnologia
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Vácuo para laboratórios
P&D
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Pesquisa fotônica
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Vácuo central
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Vácuo para laboratórios
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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Descascamento/cinzenteamento
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PVD
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Poli etch Si
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Implantação de íons
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PECVD
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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ALD
Acessórios
- Sensor químico elétrico
- Reservatório
- Reservatório de bypass sobresselente