Confiável
A melhor tecnologia de rolamento híbrido da sua categoria, lubrificação superior do rolamento para um ciclo de vida longo
Alto desempenho
Geometria do rotor otimizada, manuseio de carga de gás aprimorado
Fluxo de gás alto
Alta velocidade de bombeamento, compatível com uma variedade de bombas de apoio, alta compressão para gases leves
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Indústria de automóveis e transporte
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Pesquisa Espacial
Área médica
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Diagnóstico por imagem
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Acelerador Médico
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Espectrômetro de massa
Produção de energia
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Geração de energia verde
P&D
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Pesquisa Espacial
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Vácuo ultra-alto
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Espectrometria de massa
Instrumentos científicos
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Espectrometria de massa
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Análise de superfícies
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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Descascamento/cinzenteamento
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PVD
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Inspeção e Metrologia
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Poli etch Si
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Deposição leve
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Implantação de íons
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PECVD
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Litografia
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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Bloqueio e transferência de carga
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ALD
Gases técnicos
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Enchimento de garrafas
Acessórios
- Adaptador de corrente
- Cabo de alimentação
- Cabo de conexão
- Vários sistemas de fieldbus
- Kit de fonte de alimentação e unidade de exibição
- Kit de montagem
- Válvula de segurança
- Acessórios de ventilação
- Unidade de ventilação para falha de energia
- Amortecedor de vibração