Confiável
Sem hidrocarbonetos, calibração automática do sensor durante a operação
Silenciosa
Níveis de ruído e vibração baixos
Sem manutenção
Suspensão eletromagnética protegendo o rotor contra desgaste prematuro, compensação contínua de desbalanceamento do rotor
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Indústria de automóveis e transporte
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Pesquisa Espacial
Indústria química
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Vácuo para laboratórios
Área médica
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Vácuo para laboratório
Farmacêutica e biotecnologia
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Vácuo para laboratórios
P&D
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Pesquisa fotônica
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Pesquisa Espacial
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Vácuo ultra-alto
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Vácuo para laboratórios
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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Descascamento/cinzenteamento
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PVD
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Inspeção e Metrologia
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Poli etch Si
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Deposição leve
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Implantação de íons
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PECVD
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Litografia
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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Bloqueio e transferência de carga
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ALD