Confiável
Melhor tecnologia de rolamento híbrido da sua categoria, longo ciclo de vida, máximo tempo de operação
Manutenção fácil
Troca de rolamento no local, insensível à poeira do processo
Alto desempenho
Projetada especialmente para processos de revestimento, conceito de rotor/estator otimizado
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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Descascamento/cinzenteamento
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PVD
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Inspeção e Metrologia
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Poli etch Si
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Deposição leve
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Implantação de íons
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PECVD
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Litografia
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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Bloqueio e transferência de carga
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ALD