Confiável
A melhor tecnologia de rolamento híbrido da sua categoria, lubrificação superior do rolamento para um ciclo de vida longo
Fluxo de gás alto
Alta velocidade de bombeamento, compatível com uma variedade de bombas de apoio, alta compressão para gases leves
Alto desempenho
Geometria do rotor otimizada, manuseio de carga de gás aprimorado
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Indústria de automóveis e transporte
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Pesquisa Espacial
Indústria química
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Vácuo para laboratórios
Área médica
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Vácuo para laboratório
Farmacêutica e biotecnologia
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Vácuo para laboratórios
P&D
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Física de alta energia
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Pesquisa Espacial
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Vácuo ultra-alto
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Física do plasma
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Vácuo para laboratórios
Semicondutor
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LPCVD / Difusão
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Descascamento/cinzenteamento
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PVD
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Inspeção e Metrologia
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Poli etch Si
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Deposição leve
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Implantação de íons
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PECVD
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Litografia
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Decapagem de metal e alto K
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Gravação por óxido
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Bloqueio e transferência de carga
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ALD
Gases técnicos
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Enchimento de garrafas