4.8 Seitenkanalhochvakuumpumpen

4.8.1 Aufbau / Funktionsprinzip

Die Seitenkanalhochvakuumpumpe ist eine Vakuumpumpe, die von Atmosphäre bis in den Hochvakuumbereich arbeitet. Die Pumpe ist eine Kombination aus Seiten-kanalpumpe (Druckbereich 1.000 bis 5 hPa, Laminarströmung) und Holweckstufen (Druckbereich 5 bis 10-5 hPa, Übergangs- und Molekularströmung).

Das Pumpsystem der Seitenkanalvakuumpumpe (Abbildung 4.20) besteht aus einer Rotorscheibe (1) mit am äußeren Umfang angeordneten Schaufeln (2) und einem ringförmigen Arbeitsraum, dem Seitenkanal (3). Dieser wird an einer Stelle durch einen Unterbrecher (4) auf das Scheibenprofil verengt. Der Pumpeffekt entsteht durch eine schraubenförmige Strömung vom Einlass zum Auslass, verursacht durch die Schaufeln des drehenden Rotors. Dadurch entsteht eine Druckdifferenz zwischen Einlass (5) und Auslass (6). Niedrige Enddrücke erreicht man durch das Hintereinanderschalten mehrerer Pumpstufen.

Bei Drücken zwischen 1 und 20 hPa verlässt man den laminaren Strömungsbereich. Dort übernehmen Holweckstufen die Gasförderung.

Zur Anpassung an den noch recht hohen Druck der Seitenkanalpumpstufen sind die Holweckkanäle vor-vakuumseitig klein und die Spalte eng. Zur Saugseite hin werden größere Kanalquerschnitte verwendet, um das Saugvermögen zu erhöhen.

4.8.2 Anwendungshinweise

Eine Seitenkanalvakuumpumpe eignet sich besonders gut zur Erzeugung eines sauberen Hochvakuums. Die Pumpe arbeitet völlig trocken, da sie nur auf der Atmosphärenseite ein mit Öl geschmiertes Lager aufweist. Sie ist ideal geeignet zum schnellen Auspumpen von Schleusen oder Transferkammern, da auf Vorpumpen und Bypassleitungen verzichtet werden kann. Die Pumpe ist entweder als Einzelpumpe oder als Vorpumpe für Turbopumpen einsetzbar. Wegen der engen Spalte können korrosive Gase, Kondensate und Partikel nicht gefördert werden.