- Leise und vibrationsarm
- Leicht
- Klein
- Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
- Lange Lebensdauer
- Geringe Gesamtbetriebskosten
TORRI
Mehrstufige Roots-Vakuumpumpen
Mit ihrer auf dem Markt einzigartigen kompakten Bauweise und ihrer hohen Energieeffizienz eignen sich die mehrstufigen Roots-Vakuumpumpen TORRI ideal für die Evakuierung von Load-Lock-Kammern.
Sie zeichnen sich durch niedrigen Enddruck und eine hervorragende Kammer-Evakuierungszeit aus.
TORRI BD
Die kompakte und energieeffiziente Lösung für Load-Lock-Kammern
Vorteile der Baureihe TORRI BD
TORRI BD gehören zu den kompaktesten, leichtesten und energieeffizientesten trockenen mehrstufigen Roots-Vakuumpumpen auf dem Markt. Daher sind sie die ideale Lösung zum Evakuieren von Load-Lock-Kammern.
Durch das bewährte Funktionsprinzip erzielen sie niedrige Enddrücke. Die hervorragende Evakuierungszeit verringert die durchschnittlichen Gesamtzykluszeiten zusätzlich.
Das vollständig offene Kommunikationsprotokoll (Modbus RTU) lässt sich mit Standard-Schnittstellenkomponenten unkompliziert an spezifische Netzwerkprotokolle anpassen.
Mit einem optionalen LCD-Controller kann der Pumpenstatus einfach überwacht werden. Alle relevanten Parameter wie Motortemperatur, -stromstärke, Kühlwasser-Durchfluss und Pumpengehäusetemperatur können angezeigt werden.
