Flexibel
Anpassbares Design für spezifische Prozessanforderungen
Einfache Wartung
Wartungsrelevanter Zugang nur an Vorderseite, Demontage in weniger als einer Minute, niedrige Gesamtbetriebskosten dank weniger Verschleißteilen
Effizient
Elektrisch beheiztes Abgasreinigungssystem mit integriertem Nasswäscher
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiter
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Anwendungen mit hohem Gasdurchsatz
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ALD
Zubehör
- Heizmantel für Abgaseintritt
- N₂-Heizung für Abgaseintritt
- Lüftersatz für Gasaustritt