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La nuova pompa per vuoto roots multistadio UltiDry. Fonte: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions presenta le pompe per vuoto roots multistadio UltiDry

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, membro del Busch Group globale, presenta le nuove pompe per vuoto roots multistadio UltiDry. Progettata per applicazioni esigenti con semiconduttori, l'UltiDry combina prestazioni robuste con un'elevata efficienza energetica e flessibilità di processo.

Le pompe per vuoto UltiDry sono progettate per resistere a gas corrosivi, sottoprodotti aggressivi e carichi elevati di polveri. La loro compressione multistadio senza olio garantisce una generazione di vuoto pulito e a secco senza contaminazione; sono dunque ideali per processi come la deposizione chimica da vapore (CVD), la deposizione a strato atomico (ALD) e la deposizione fisica in fase di vapore (PVD).

Sistema di spurgo brevettato e notevoli risparmi energetici

Una delle innovazioni chiave dell'UltiDry è il suo sistema di iniezione di spurgo brevettato, sviluppato per proteggere la pompa per vuoto eliminando contaminanti come la polvere. Questa caratteristica garantisce prestazioni stabili e un funzionamento regolare, anche in processi ad alta intensità di polveri.

Il consumo di energia è un fattore di costo cruciale nelle semi fab. Con il suo design roots multistadio ottimizzato, l'UltiDry offre fino all'87% di risparmi energetici rispetto ad altre pompe per vuoto della sua categoria. Ciò non solo riduce l'impronta di carbonio, ma aiuta anche i clienti a raggiungere i loro obiettivi di sostenibilità e redditività.

La pompa per vuoto funziona in modo affidabile in un ampio intervallo termico da 50 °C a 270 °C, adattandosi in modo flessibile ai diversi requisiti del processo. Ciò la rende adatta sia per processi di rivestimento sensibili alla temperatura sia per applicazioni corrosive su semiconduttori. Mantenendo un funzionamento stabile in condizioni di temperatura variabili, l'UltiDry favorisce una qualità del prodotto costante e lunghi intervalli di assistenza. La combinazione di un rivestimento resistente alla corrosione, un ridotto utilizzo di gas di spurgo e un'elevata efficienza energetica fanno dell'UltiDry la soluzione di sostenibilità e a bassa manutenzione giusta per gli ambienti di produzione più esigenti.