ASM 390/392
Rilevatori di perdite
Facilità d'uso
Ampio pannello di comando a colori girevole, cassetta per utensili integrata e spazio di stoccaggio
Prestazioni elevate
Avviamento rapido, elevata capacità di aspirazione, ideale per applicazioni esigenti in ambienti puliti
Flessibilità
Design compatto ed ergonomico, facile accesso a tutte le aree di test
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Automotive e trasporto
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Rivelazione di perdite e test EoL
Batteria
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Rilevamento perdite e test EOL (Master)
Chimico
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Rivelazione di perdite
Display
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Camere di carico
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)
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Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
Risparmio di idrogeno
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Rilevamento perdite e test EOL (Master)
Medicale
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Test di tenuta di dispositivi medicali
Settore farmaceutico e biotecnologico
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Rivelazione di perdite
R&D
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Fisica delle particelle
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Rivelazione di perdite
Refrigerazione e condizionamento dell'aria
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Rivelazione di perdite e test EoL
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Applicazioni ad alto flusso
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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ALD
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Ricottura
Gas tecnici
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Condensazione
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Vuoto per isolamento
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Trasporto di gas
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Imbottigliamento
Rivestimento a film sottile
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Rivestimento in laboratorio