BC 0601–1200 A/G
Pompe per vuoto a vite a secco
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, struttura a forma di campana, viti brevettate con bilanciamento automatico, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicata per processi di deposizione di strati atomici a freddo, compartimenti di carico e camere di trasferimento, metrologia, litografia, deposizione fisica in fase di vapore e ricottura termica rapida e processi di incisione come ossido, silicio e metallo
Efficienti
Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, raffreddamento ad acqua diretto
Compattezza
Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su un telaio compatto
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
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Ricottura