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Svizzera

DS 1200/1800 A/A X

Pompe per vuoto a vite a secco

Prestazioni elevate

Design della vite avanzato, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicate per applicazioni nel campo dell'energia solare, degli schermi piatti e dei semiconduttori e per processi gravosi con temperature dei gas elevate, come incisione e deposizione chimica da fase vapore, eccellente gestione della polvere, vite rivestita di tantalio per applicazioni gravose

Efficienza

Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, elevata resa di idrogeno, basso consumo di energia, controllo della temperatura variabile

Compattezza

Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su un telaio compatto, basso livello di vibrazioni

Specifiche tecniche

Settori e applicazioni

Display
  • Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)
Semiconduttore
  • LPCVD/diffusione
  • Etching di Si policristallino
  • PECVD
  • Etching di metallo e dielettrici high K
  • Cobalto, WCVD, TiN e TDMAT
  • ALD
  • Ricottura
Solare
  • Estrazione di lingotti