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Svizzera

Robustezza

Cattura di gas e particelle idrosolubili

Facile manutenzione

Manutenzione rapida e semplice, accesso per la manutenzione solo sul lato frontale

Efficienza

Bassi costi di esercizio grazie al minimo consumo di acqua pulita, fino al 99% di operatività

Specifiche tecniche

Settori e applicazioni

Metallurgia
  • Sinterizzazione sotto vuoto
  • Saldatura/brasatura in vuoto
Semiconduttore
  • Strippaggio/incenerimento
  • Etching di Si policristallino
  • Etching di metallo e dielettrici high K
Solare
  • Produzione di celle

Accessori

  • Camicia di riscaldamento per l'entrata del gas di scarto
  • Riscaldamento N₂ per l'entrata del gas di scarto
  • Dispositivo di pulizia ingresso
  • Kit ventilatore per uscita del gas