HiPace 1200/1500
Pompe per vuoto turbomolecolari
Robustezza
Migliore tecnologia di cuscinetti ibridi della categoria, massima operatività, superfici rivestite in nichel per applicazioni corrosive
Flessibilità
Ampio portafoglio, accessori standard e tool di comunicazione
Prestazioni elevate
Elevata capacità di aspirazione, compressione eccellente per gas leggeri
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Automotive e trasporto
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Trattamento termico
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Ricerca spaziale
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Saldatura a fascio E
Itticoltura
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Confezionamento sottovuoto
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Confezionamento MAP
Medicale
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Imaging diagnostico
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Acceleratore per uso medicale
Metallurgia
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Saldatura a fascio E
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Saldatura/brasatura in vuoto
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Trattamento termico
R&D
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Fisica delle particelle
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Ricerca spaziale
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Vuoto ultra alto
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Fisica del plasma
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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ALD
Rivestimento a film sottile
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Rivestimento ottico
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Rivestimento decorativo
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Rivestimento in laboratorio
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Rivestimento protettivo antiusura