HiPace 300 M
Pompe per vuoto turbomolecolari
Affidabilità
Senza idrocarburi, calibrazione automatica del sensore durante l'attività
Silenziosità
Bassa rumorosità e vibrazione
Senza manutenzione
Sospensione elettromagnetica che protegge il rotore dall'usura prematura, compensazione continua dello squilibrio del rotore
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Automotive e trasporto
-
Ricerca spaziale
Chimico
-
Vuoto da laboratorio
Medicale
-
Vuoto per lab
Settore farmaceutico e biotecnologico
-
Vuoto da laboratorio
R&D
-
Ricerca fotonica
-
Ricerca spaziale
-
Vuoto ultra alto
-
Vuoto da laboratorio
Semiconduttore
-
LPCVD/diffusione
-
Strippaggio/incenerimento
-
PVD
-
Ispezione e metrologia
-
Etching di Si policristallino
-
Deposizione leggera
-
Impianto ionico
-
PECVD
-
Litografia
-
Etching di metallo e dielettrici high K
-
Mordenzatura con ossido
-
Blocco carico e trasferimento
-
ALD