HiPace 400
Pompe per vuoto turbomolecolari
Affidabilità
La migliore tecnologia di cuscinetti ibridi della categoria, lubrificazione superiore dei cuscinetti per un ciclo di vita lungo
Prestazioni elevate
Geometria del rotore ottimizzata, migliore movimentazione del carico di gas
Elevata portata gas
Elevata capacità di aspirazione, compatibile con una varietà di pompe per vuoto iniziale, elevata compressione per gas leggeri
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Automotive e trasporto
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Ricerca spaziale
Medicale
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Imaging diagnostico
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Acceleratore per uso medicale
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Spettrometro di massa
Generazione di potenza elettrica
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Generazione di energia verde
R&D
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Ricerca spaziale
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Vuoto ultra alto
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Spettrometria di massa
Strumenti scientifici
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Spettrometria di massa
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Analisi delle superfici
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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ALD
Gas tecnici
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Imbottigliamento
Accessori
- Adattatore elettrico
- Cavo di rete
- Cavo di collegamento
- Vari sistemi bus di campo
- Kit di alimentazione e unità display
- Kit di montaggio
- Valvola di sicurezza
- Accessori di sfiato
- Mancanza di potenza, unità di sfiato
- Smorzatore di vibrazioni