HiPace 700 M
Pompe per vuoto turbomolecolari
Affidabilità
Senza idrocarburi, calibrazione automatica del sensore durante l'attività
Silenziosità
Bassa rumorosità e vibrazione
Senza manutenzione
Sospensione elettromagnetica che protegge il rotore dall'usura prematura, compensazione continua dello squilibrio del rotore
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Automotive e trasporto
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Ricerca spaziale
Chimico
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Vuoto da laboratorio
Medicale
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Vuoto per lab
Settore farmaceutico e biotecnologico
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Vuoto da laboratorio
R&D
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Ricerca fotonica
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Ricerca spaziale
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Vuoto ultra alto
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Vuoto da laboratorio
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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ALD