HiPace 700 P
Pompe per vuoto turbomolecolari
Affidabilità
La migliore tecnologia di cuscinetti ibridi della categoria, ciclo di vita lungo, massima operatività
Facilità di manutenzione
Sostituzione dei cuscinetti in loco, insensibile alla polvere di processo
Prestazioni elevate
Progettazione specifica per processi di rivestimento, concept ottimizzato di rotore/statore
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Automotive e trasporto
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Trattamento termico
Metallurgia
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Saldatura/brasatura in vuoto
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Trattamento termico
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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ALD
Rivestimento a film sottile
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Rivestimento ottico
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Rivestimento decorativo
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Rivestimento protettivo antiusura