HiPace 700 Plus
Pompe per vuoto turbomolecolari
Affidabilità
La migliore tecnologia di cuscinetti ibridi della categoria, ciclo di vita lungo, massima operatività
Basso campo di dispersione magnetica
Ideale per applicazioni ad alta sensibilità come i microscopi elettronici ad alta risoluzione
Silenziosità
Bassi livelli di vibrazioni e rumorosità grazie al cuscinetto sotto pavimento combinato con tecnologia di equilibratura laser brevettata
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Automotive e trasporto
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Trattamento termico
Metallurgia
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Saldatura/brasatura in vuoto
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Trattamento termico
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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ALD