HiPace 800 H
Pompe per vuoto turbomolecolari
Affidabilità
La migliore tecnologia di cuscinetti ibridi della categoria, ciclo di vita lungo, massima operatività
Silenziosità
Bassi livelli di vibrazioni e rumorosità grazie alla tecnologia di equilibratura laser brevettata
Prestazioni elevate
Miglior tasso di compressione per gas leggeri, perfettamente adatto per applicazioni di alto vuoto e vuoto ultra alto
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
R&D
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Fisica delle particelle
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Vuoto ultra alto
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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ALD