HiPace 800
Pompe per vuoto turbomolecolari
Affidabilità
La migliore tecnologia di cuscinetti ibridi della categoria, lubrificazione superiore dei cuscinetti per un ciclo di vita lungo
Elevata portata gas
Elevata capacità di aspirazione, compatibile con una varietà di pompe per vuoto iniziale, elevata compressione per gas leggeri
Prestazioni elevate
Geometria del rotore ottimizzata, migliore movimentazione del carico di gas
Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Automotive e trasporto
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Ricerca spaziale
Chimico
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Vuoto da laboratorio
Medicale
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Vuoto per lab
Settore farmaceutico e biotecnologico
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Vuoto da laboratorio
R&D
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Fisica delle particelle
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Ricerca spaziale
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Vuoto ultra alto
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Fisica del plasma
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Vuoto da laboratorio
Semiconduttore
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LPCVD/diffusione
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Strippaggio/incenerimento
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PVD
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Ispezione e metrologia
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Etching di Si policristallino
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Deposizione leggera
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Impianto ionico
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PECVD
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Litografia
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Etching di metallo e dielettrici high K
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Mordenzatura con ossido
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Blocco carico e trasferimento
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ALD
Gas tecnici
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Imbottigliamento