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La nueva bomba de vacío roots multietapa UltiDry Fuente: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions presenta las bombas de vacío Roots multietapa UltiDry

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, miembro del grupo global Busch Group, presenta las nuevas bombas de vacío Roots multietapa UltiDry. El UltiDry, diseñado para aplicaciones exigentes de semiconductores, combina un rendimiento robusto con una alta eficiencia energética y flexibilidad de procesos.

Las bombas de vacío UltiDry están diseñadas para soportar gases corrosivos, subproductos agresivos y cargas pesadas de polvo. Su compresión multietapa libre de aceite garantiza una generación de vacío limpio y seco sin contaminación, lo que las hace ideales para procesos como la deposición química de vapor (CVD), la deposición de capa atómica (ALD) y la deposición física del vapor (PVD).

Sistema de purga patentado y ahorro significativo de energía

Una de las innovaciones clave del UltiDry es su sistema de inyección de purga patentado, desarrollado para proteger la bomba de vacío eliminando contaminantes como el polvo. Esta característica garantiza un rendimiento estable y un funcionamiento sin problemas, incluso en procesos intensivos en polvo.

El consumo energético es un factor de coste importante en las fábricas de semiconductores. Con su diseño multietapa optimizado, la UltiDry ofrece un ahorro de energía de hasta el 87 % en comparación con otras bombas de vacío de su clase. Esto no solo reduce la huella de carbono, sino que también ayuda a los clientes a alcanzar sus objetivos de sostenibilidad y rentabilidad.

La bomba de vacío funciona de forma fiable en un amplio rango térmico de 50 °C a 270 °C, adaptándose de forma flexible a los diferentes requisitos del proceso. Esto lo hace adecuado tanto para procesos de recubrimiento sensibles a la temperatura como para aplicaciones corrosivas de semiconductores. Al mantener un funcionamiento estable en diferentes condiciones de temperatura, el UltiDry ofrece soporte para una calidad del producto constante y largos intervalos de servicio. La combinación de un recubrimiento anticorrosión, un menor uso de inyección de gas y una alta eficiencia energética convierten al UltiDry en una solución duradera y de bajo mantenimiento para entornos de fabricación muy exigentes.