ASM 390/392
Detectores de fugas
Fáciles de usar
Pantalla táctil a color grande y giratoria, caja de herramientas integrada y espacio de almacenamiento
Alto rendimiento
Puesta en marcha rápida, alto caudal, perfectas para aplicaciones exigentes en entornos limpios
Versátiles
Diseño compacto y ergonómico, fácil acceso a todas las áreas de prueba
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Automoción y transporte
-
Detección de fugas y pruebas de fin de vida útil
Batería
-
Detección de fugas y prueba de fin de vida útil (maestro)
Química
-
Detección de fugas
Pantalla
-
Cámaras load lock
-
Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
-
Deposición física de vapor (PVD)
Economía de hidrógeno
-
Detección de fugas y prueba de fin de vida útil (maestro)
Medicina
-
Test de fugas de dispositivos médicos
Farmacéutica y biotecnología
-
Detección de fugas
I+D
-
Física de alta energía
-
Detección de fugas
Refrigeración y aire acondicionado
-
Detección de fugas y pruebas de fin de vida útil
Semiconductores
-
LPCVD / difusión
-
Aplicaciones de alto caudal
-
Desincrustación / ceniza
-
PVD
-
Inspección y metrología
-
Si Poly etch
-
Deposición ligera
-
Implantación de iones
-
PECVD
-
Litografía
-
Metal y grabado de alta K
-
Grabado por óxido
-
bloqueo de carga/de transferencia
-
Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT
-
ALD
-
Recocido
Gases técnicos
-
Licuefacción
-
Aislamiento de vacío
-
Transporte de gas
-
Llenado de botellas
Recubrimientos con película fina
-
Recubrimiento para laboratorios