BC 0101 G
Bomba de vacío de tornillo de funcionamiento en seco
Alto rendimiento
Diseño de tornillo avanzado, construcción en forma de campana, tornillos autoequilibrados patentados, excelentes cualidades de funcionamiento, perfectas para tareas en las cámaras de load lock y transferencia, metrología, litografía, deposición física del vapor y recocido térmico rápido
Eficientes
Accionamiento con velocidad variable inteligente, coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, alto tiempo de actividad, refrigeración por agua directa
Compactas
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, panel de control integrado
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Semiconductores
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Desincrustación / ceniza
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Si Poly etch
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Implantación de iones
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Grabado por óxido
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Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT