CT-TW
Térmico-húmedo
Versátiles
Diseño personalizable para adaptarse a los requisitos del proceso específico
Facilidad de mantenimiento
Acceso relevante para el mantenimiento solo en el lado frontal, desmontaje en menos de un minuto, bajo coste total de propiedad gracias al número reducido de piezas de desgaste
Eficientes
Sistema de tratamiento de gases residuales calentado eléctricamente con depurador húmedo integrado
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Aplicaciones de alto caudal
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ALD
Accesorios
- Camisa de calefacción para aspiración de gases residuales
- Calefacción de N₂ para aspiración de gases residuales
- Kit de ventilador para zona de escape