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HiPace 1200/1500

Bombas de vacío turbomoleculares

Robustas

La mejor tecnología de rodamientos híbridos de su clase, máximo tiempo de actividad, superficies recubiertas de níquel para aplicaciones corrosivas

Versátiles

Amplia cartera, accesorios estándar y herramientas de comunicación

Alto rendimiento

Alto caudal, excelente compresión para gases ligeros

Especificaciones técnicas

Mercados y aplicaciones

Automoción y transporte
  • Tratamiento térmico
  • Investigación espacial
  • Soldadura por haz de electrones
Piscifactorías
  • Envasado al vacío
  • Envasado en atmósfera protectora
Medicina
  • Diagnóstico por imágenes
  • Acelerador médico
Metalurgia
  • Soldadura por haz de electrones
  • Soldadura bajo vacío
  • Tratamiento térmico
I+D
  • Física de alta energía
  • Investigación espacial
  • Ultra vacío
  • Física del plasma
Semiconductores
  • LPCVD / difusión
  • Desincrustación / ceniza
  • PVD
  • Inspección y metrología
  • Si Poly etch
  • Deposición ligera
  • Implantación de iones
  • PECVD
  • Litografía
  • Metal y grabado de alta K
  • Grabado por óxido
  • bloqueo de carga/de transferencia
  • ALD
Recubrimientos con película fina
  • Recubrimiento óptico
  • Recubrimiento decorativo
  • Recubrimiento para laboratorios
  • recubrimiento de protección contra el desgaste

Accesorios

  • Adaptador de corriente
  • Cable de red
  • Cable de conexión
  • Unidad de visualización
  • Kits de seguridad y montaje
  • Accesorios de ventilación
  • Accesorios de gas de sellado
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