HiPace 700 Plus
Bombas de vacío turbomoleculares
Fiables
La mejor tecnología de rodamientos híbridos de su clase, largo ciclo de vida, máximo tiempo de actividad
Campo magnético de dispersión reducido
Ideal para aplicaciones de alta sensibilidad como microscopios de electrones de alta resolución
Silenciosas
Bajo nivel de vibración y ruido gracias al rodamiento integrado combinado con la tecnología de equilibrado láser patentada
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Automoción y transporte
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Tratamiento térmico
Metalurgia
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Soldadura bajo vacío
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Tratamiento térmico
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Desincrustación / ceniza
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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ALD