HiPace 800
Bombas de vacío turbomoleculares
Fiables
La mejor tecnología de rodamientos híbridos de su clase, lubricación superior de los rodamientos para un ciclo de vida prolongado
Caudal de gas elevado
Alto caudal, compatible con una variedad de bombas primarias, alta compresión para gases ligeros
Alto rendimiento
Geometría optimizada del rotor, manipulación mejorada de la carga de gas
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Automoción y transporte
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Investigación espacial
Química
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Vacío para laboratorios
Medicina
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Vacío de laboratorio
Farmacéutica y biotecnología
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Vacío para laboratorios
I+D
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Física de alta energía
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Investigación espacial
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Ultra vacío
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Física del plasma
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Vacío para laboratorios
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Desincrustación / ceniza
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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ALD
Gases técnicos
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Llenado de botellas