BD 0100–0600 A
Bombas de vacío roots multietapa
Versátiles
El tiempo de evacuación más corto para cámaras de bloqueo de carga
Eficientes
Consumo energético extremadamente bajo, mantenimiento mínimo y alto tiempo de actividad
Compactas
Excepcionalmente pequeñas y ligeras
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
I+D
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Investigación fotónica
Semiconductores
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PVD
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Inspección y metrología
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Implantación de iones
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Litografía
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bloqueo de carga/de transferencia
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Recocido
Recubrimientos con película fina
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Recubrimiento para laboratorios