ATH 1600 MT/1603 M
Bombas de vacío turbomoleculares
Silenciosas
Bajo nivel de vibración y ruido, perfectas para aplicaciones sensibles a las vibraciones en procesos de fabricación de semiconductores e instrumentos analíticos
Versátiles
Compatibles con una variedad de bombas primarias, versión MT con sistema de calefacción integrado para condiciones químicas exigentes, motores de corriente continua (CC) con control de frecuencia
Libres de mantenimiento
Sin piezas de desgaste gracias a la tecnología de rodamiento magnético, reducción de la contaminación por partículas o acumulación de residuos en la versión MT
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Automoción y transporte
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Investigación espacial
Pantalla
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Deposición física de vapor (PVD)
Medicina
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Diagnóstico por imágenes
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Acelerador médico
I+D
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Física de alta energía
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Investigación fotónica
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Investigación espacial
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Ultra vacío
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Física del plasma
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT
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ALD
Recubrimientos con película fina
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Recubrimiento de vidrio
Accesorios
- Kit de instalación
- Válvula de agua de refrigeración
- Válvula de inyección de gas
- Controlador remoto
- Pantalla de protección de entrada
- Unidad calefactora
- Cable y bobina de la válvula
- Varios tipos de bridas de entrada
- Diversas interfaces de usuario
- Sistema de gestión de la temperatura para procesos corrosivos
- Sistema de refrigeración por aire