ATH 4506 M/MT
Bombas de vacío turbomoleculares
Alta temperatura y caudal
Amplia gama de procesos, alta resistencia a la corrosión
Autodiagnósticos
Sensor integrado para diagnósticos de rendimiento, optimizaciones de mantenimiento y comunicaciones externas
Económicas
Gestión optimizada de la temperatura, bajo consumo de agua de refrigeración y energía, bajo coste de propiedad
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Pantalla
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Deposición física de vapor (PVD)
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT
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ALD
Recubrimientos con película fina
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Recubrimiento óptico
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Recubrimiento decorativo
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recubrimiento de protección contra el desgaste
Accesorios
- Válvula de purga de gas de sellado protector
- Válvula de agua de refrigeración
- Control remoto de mano
- Filtro de protección para la brida de entrada
- Kit de montaje
- Bridas de entrada: VG350 o VG400
- Bridas de escape: DN40 o DN50
- Varias opciones de calefacción
- Purga intermedia adicional para procesos exigentes
- Sensor de temperatura del rotor
- Sensor de presencia de purga
- Potencia de entrada: 200, 440 o 480 V CA