ATP 1603 M
Bombas de vacío turbomoleculares
Silenciosas
Bajo nivel de vibración y ruido, perfectas para aplicaciones sensibles a las vibraciones en procesos de fabricación de semiconductores e instrumentos analíticos
Versátiles
Compatibles con una variedad de bombas primarias, excelente relación de compresión para gases ligeros
Libres de mantenimiento
Sin piezas de desgaste gracias a la tecnología de rodamiento magnético, largos intervalos de mantenimiento
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Automoción y transporte
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Investigación espacial
Pantalla
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Deposición física de vapor (PVD)
I+D
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Física de alta energía
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Investigación fotónica
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Investigación espacial
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Ultra vacío
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Física del plasma
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT
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ALD