BC 0601–1200 A/G

Alto rendimiento

Diseño avanzado del tornillo, construcción en forma de campana, tornillos autoequilibrados patentados, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para procesos de deposición de capas atómicas en frío, cámaras de load lock y transferencia, metrología, litografía, deposición física del vapor, recocido térmico rápido y procesos de decapado como óxido, silicona y metal

Eficientes

Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, refrigeración por agua directa

Compactas

Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados sobre una bancada compacta