DS 0600 E
Bomba de vacío de tornillo de funcionamiento en seco
Alto rendimiento
Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, perfectas para la deposición química de vapor, los tratamientos térmicos rápidos o la deposición de capas atómicas
Eficientes
Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad. eficaz refrigeración por agua indirecta, gran capacidad de hidrógeno
Compactas
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Si Poly etch
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PECVD
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Metal y grabado de alta K
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ALD