DS 1200/1800 A/A X
Bombas de vacío de tornillo en seco
Alto rendimiento
Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para aplicaciones solares, paneles planos y semiconductores, así como procesos exigentes con gases a altas temperaturas, tales como el grabado al agua fuerte y la CVD, excelente gestión del polvo, tornillo recubierto de tantalio para aplicaciones severas
Eficientes
Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, gran capacidad de hidrógeno, bajo consumo energético, control de temperatura variable
Compactas
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados en una bancada compacta, bajo nivel de vibración
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
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Deposición física de vapor (PVD)
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LPCVD / difusión
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Si Poly etch
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PECVD
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Metal y grabado de alta K
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Cobalto, WCVD, TiN y TDMAT
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ALD
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Recocido
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Extracción de lingotes