HiPace 400
Bombas de vacío turbomoleculares
Fiables
La mejor tecnología de rodamientos híbridos de su clase, lubricación superior de los rodamientos para un ciclo de vida prolongado
Alto rendimiento
Geometría optimizada del rotor, manipulación mejorada de la carga de gas
Caudal de gas elevado
Alto caudal, compatible con una variedad de bombas primarias, alta compresión para gases ligeros
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Automoción y transporte
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Investigación espacial
Medicina
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Diagnóstico por imágenes
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Acelerador médico
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Espectrómetro de masas
Generación de energía
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Generación de energía verde
I+D
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Investigación espacial
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Ultra vacío
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Espectrometría de masas
Instrumentos científicos
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Espectrometría de masas
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Análisis de superficie
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Desincrustación / ceniza
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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ALD
Gases técnicos
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Llenado de botellas
Accesorios
- Adaptador de corriente
- Cable de red
- Cable de conexión
- Varios sistemas de bus de campo
- Kit de alimentación eléctrica y unidad de visualización
- Kit de montaje
- Válvula de seguridad
- Accesorios de ventilación
- Unidad de ventilación en caso de corte de corriente
- Amortiguador de vibraciones