HiPace 800 H
Bombas de vacío turbomoleculares
Fiables
La mejor tecnología de rodamientos híbridos de su clase, largo ciclo de vida, máximo tiempo de actividad
Silenciosas
Bajo nivel de vibración y ruido gracias a la tecnología de equilibrado láser patentada
Alto rendimiento
La mejor relación de compresión para gases ligeros, un producto perfecto para aplicaciones de alto y ultra vacío
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
I+D
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Física de alta energía
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Ultra vacío
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Desincrustación / ceniza
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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ALD