HiPace 800 P
Bombas de vacío turbomoleculares
Fiables
La mejor tecnología de rodamientos híbridos de su clase, largo ciclo de vida, máximo tiempo de actividad
Facilidad de mantenimiento
Cambio de rodamiento in situ, insensible al polvo del proceso
Alto rendimiento
Diseño especial para los procesos de recubrimiento, concepto optimizado de rotor/estator
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Desincrustación / ceniza
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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ALD