CT-TW-H
Térmico-húmedo-híbrido
Versátiles
Diseño personalizable para adaptarse a los requisitos del proceso específico
Facilidad de mantenimiento
Acceso relevante para el mantenimiento solo en el lado frontal, desmontaje en menos de un minuto, bajo coste total de propiedad gracias al número reducido de piezas de desgaste
Eficientes
Sistema de tratamiento de gases residuales calentado eléctricamente con depurador húmedo integrado, aumenta la temperatura de combustión mediante inyección de hidrógeno para destruir el PFC y otros gases
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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PECVD
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Grabado por óxido
Accesorios
- Camisa de calefacción
- Calefacción de N₂ para aspiración de gases residuales
- Kit de ventilador para zona de escape