HiPace 300 M
Bombas de vacío turbomoleculares
Fiables
Sin hidrocarburos, calibración automática del sensor durante el funcionamiento
Silenciosas
Bajo nivel de ruido y vibración
Libres de mantenimiento
Suspensión electromagnética que protege el rotor del desgaste prematuro, compensación continua del desequilibrio del rotor
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
Automoción y transporte
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Investigación espacial
Química
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Vacío para laboratorios
Medicina
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Vacío de laboratorio
Farmacéutica y biotecnología
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Vacío para laboratorios
I+D
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Investigación fotónica
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Investigación espacial
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Ultra vacío
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Vacío para laboratorios
Semiconductores
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LPCVD / difusión
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Desincrustación / ceniza
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PVD
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Inspección y metrología
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Si Poly etch
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Deposición ligera
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Implantación de iones
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PECVD
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Litografía
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Metal y grabado de alta K
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Grabado por óxido
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bloqueo de carga/de transferencia
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ALD