Serie A4

La serie A4 cuenta con un motor de gran eficiencia energética con un variador de frecuencia, lo que permite a las bombas de vacío ajustar su velocidad de forma flexible para satisfacer individualmente los requisitos de cada proceso. También incluye un modo inactivo que garantiza que la bomba de vacío funcione a velocidad mínima entre los pasos del proceso y cuando no sea necesaria. Estas características se traducen en un ahorro significativo de energía.

Gracias a las sofisticadas funciones de monitorización que supervisan el estado de la bomba en tiempo real, se pueden recuperar varios parámetros operativos de la serie A4, como los niveles de vibración, la presión y la detección de condensado, mediante un control remoto manual suministrado con pantalla. Esto permite realizar un mantenimiento preventivo y reduce el tiempo de inactividad.

Una inyección de nitrógeno caliente integrada en la zona de escape de las bombas de vacío A4 mejora la seguridad operativa y la eficiencia, y garantiza una dilución selectiva de los gases inflamables. Las válvulas de control de flujo y presión realizan una monitorización continua del suministro de nitrógeno y emiten advertencias si se producen desviaciones. El riesgo de formación de depósitos y condensados se puede reducir, evitando eficazmente la obstrucción de la línea de descarga, que de lo contrario podría provocar explosiones.

Además, las bombas de vacío roots multietapa A4 ofrecen funciones avanzadas de control de temperatura. Los calefactores integrados mantienen estas bombas de vacío a una temperatura definida, evitando la condensación y las reacciones químicas no deseadas para garantizar una calidad constante del proceso. Las funciones de seguridad térmica integradas cortan la alimentación eléctrica si la temperatura del cuerpo de la bomba de vacío supera los 100 °C, evitando el sobrecalentamiento y posibles daños en la bomba de vacío.

Dentro de la familia de productos A4, hay disponibles tres versiones diferentes con distintas

resistencias a la corrosión: las bombas de vacío A4H están diseñadas para procesos de carga media en las industrias de semiconductores y recubrimientos, como la deposición de películas finas para células solares. Con una protección anticorrosión básica, ofrecen una mejor tolerancia a las partículas, evitan daños en los componentes sensibles de la bomba y garantizan un rendimiento robusto para manejar este tipo de procesos.

En procesos de semiconductores exigentes, como las aplicaciones de grabado de conductores y polisilicio, la versión A4X es anticorrosión y proporciona soluciones de bombeo en seco fiables. Ofrece una protección anticorrosión mejorada en comparación con las bombas A4H gracias a materiales especiales que protegen los rotores de la corrosión.

La versión A4XN es ideal para aplicaciones corrosivas extremas, como la deposición química de vapor (CVD) o la deposición de capa atómica (ALD). Gracias a la tecnología de recubrimiento de níquel XN desarrollada por Pfeiffer, todas las piezas de la bomba de vacío que entran en contacto con gases corrosivos están protegidas. Esto prolonga significativamente su vida útil, incluso en las aplicaciones más exigentes.