Bombas de vacío Roots multietapa

Bombas de vacío Roots multietapa para aplicaciones limpias

Las bombas de vacío Roots multietapa de Pfeiffer combinan una robustez excepcional con una alta fiabilidad. Son perfectas para aplicaciones que requieren un vacío limpio, sin aceite ni partículas, como en la fabricación de semiconductores o el recubrimiento al vacío.

Soluciones ideales para aplicaciones de vacío limpio

La serie ACP, las bombas A 100 L y A 200 L, así como las bombas TORRI BD, son soluciones de vanguardia diseñadas especialmente para procesos limpios que exigen una alta pureza y fiabilidad.

Con su variador de frecuencia, sistema de refrigeración por aire y requisitos de mantenimiento mínimos gracias a las tolerancias de ajuste preciso que garantizan un funcionamiento sin contacto, la serie ACP ofrece un rendimiento y una durabilidad constantes. Estas características permiten que las bombas de vacío funcionen de forma eficiente en múltiples versiones. Cada una de ellas está optimizada para aplicaciones específicas: desde la manipulación de gases limpios y no corrosivos hasta el proceso de trazas de gases corrosivos. Una válvula gas-ballast dentro del ACP mejora el bombeo de gases ligeros y evita la condensación dentro de la bomba. En conjunto, estas cualidades hacen que la serie ACP sea ideal para procesos de vacío en seco en industrias como la fabricación de semiconductores, la medicina y la farmacéutica, y la investigación y el desarrollo.

Las series A 100 L y A 200 L cuentan con un diseño compacto y opciones de conexión flexibles con entradas horizontales o verticales, lo que permite una integración perfecta en los sistemas existentes. Gracias a su excepcional rendimiento y eficiencia energética, son capaces de procesar rápidamente grandes volúmenes de gas, lo que permite ciclos de evacuación rápidos y frecuentes en cámaras de transferencia y bloqueo de carga.

Otra solución para las cámaras load lock son las bombas de vacío compactas TORRI BD. Combinan una alta eficiencia energética, un vacío límite bajo gracias a su principio de funcionamiento probado y los mejores tiempos de evacuación de la cámara.

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Bombas de vacío Roots multietapa para aplicaciones químicas exigentes

En los procesos de recubrimiento y semiconductores, hay aplicaciones exigentes y extremadamente exigentes, como la deposición química de vapor (CVD), que requieren el uso de productos químicos altamente corrosivos y agresivos. Esto hace que la protección contra la corrosión y el control de temperatura de las bombas de vacío sean igualmente importantes.

Bombas secas altamente fiables para procesos químicos agresivos

Nuestras bombas de vacío Roots multietapa de la serie A4 ofrecen una solución altamente fiable y eficiente para procesos que implican gases corrosivos y productos químicos agresivos. Gracias al uso de materiales anticorrosión, estas bombas de vacío son adecuadas para la manipulación de gases corrosivos y ofrecen un rendimiento constante y fiable. Ideales para aplicaciones exigentes como el grabado de semiconductores, la deposición química de vapor (CVD) y otros procesos químicos agresivos, la serie A4 garantiza un funcionamiento fiable y una durabilidad excepcional.

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Una bomba de vacío Roots multietapa es una bomba de desplazamiento positivo diseñada para proporcionar un vacío limpio y libre de aceite. El medio bombeado pasa por varias etapas. En cada etapa, al menos dos lóbulos de rotación opuesta transportan el medio hasta que se expulsa en la etapa final. Al utilizar varias etapas conectadas en serie, la bomba alcanza presiones diferenciales más altas y presiones de vacío límite más bajas que los boosters de vacío.

Su diseño robusto, combinado con recubrimientos anticorrosión, hace que las bombas de vacío Roots multietapa como la serie A4 de Pfeiffer sean altamente resistentes a los gases y partículas agresivos. Gracias a estas características, son ideales para aplicaciones exigentes que requieren vacío limpio y seco, como la fabricación de semiconductores, el recubrimiento al vacío, la analítica y la investigación y desarrollo.

Una bomba de vacío Roots multietapa consta de varias etapas dispuestas en serie. Cada etapa contiene lóbulos rotatorios que transportan el medio bombeado a través de la bomba. Los canales de transferencia regulan el caudal del medio entre las etapas, y una unidad de engranajes sincroniza el movimiento de los lóbulos para evitar el contacto entre sí o con el alojamiento.

El principio de funcionamiento se puede explicar en tres pasos:

1. Entrada (primera etapa):

2. Compresión en varias etapas:


3. Salida (etapa final):

Las bombas de vacío Roots multietapa están especialmente diseñadas para manejar una amplia gama de productos químicos, incluidas sustancias corrosivas y agresivas. Desde ácidos y disolventes hasta gases y vapores, estas bombas gestionan de forma eficiente y fiable una multitud de compuestos químicos. La serie A4 de Pfeiffer se caracteriza por una construcción especialmente robusta y materiales resistentes a la corrosión, como recubrimientos anticorrosión especiales. Junto con las funciones de control de temperatura, como los calentadores integrados, ayudan a evitar la condensación y las reacciones químicas no deseadas, como la creación de subproductos.

El tipo de bomba de vacío Roots multietapa necesaria depende del proceso específico en el que se deba utilizar. Cada aplicación exige distintas velocidades de bombeo, presiones de vacío límite, caudales de entrada y capacidades de manipulación de gases exigentes. Por ejemplo, en la fabricación de semiconductores, se prefieren bombas de vacío Roots multietapa compactas con alto rendimiento para ciclos de evacuación rápidos. Por el contrario, los analizadores de superficie y los detectores de fugas pueden requerir versiones con opciones específicas de puerto de gas. Además, en los aceleradores de partículas, los modelos con resistencia a la radiación son esenciales. Por lo tanto, es crucial comprender las exigencias únicas de cada aplicación a la hora de seleccionar la bomba de vacío Roots multietapa más adecuada para garantizar un rendimiento y una eficiencia óptimos.

Las bombas de vacío Roots multietapa de Pfeiffer satisfacen las exigencias más exigentes de los procesos de recubrimiento, lo que las convierte en una opción excelente para estas aplicaciones.

1. Vacío limpio y seco: las bombas de vacío de lóbulos multietapa generan vacío limpio y seco, lo que es esencial para los procesos de recubrimiento para evitar la contaminación.

2. Alta fiabilidad: su funcionamiento sin contacto minimiza el desgaste y garantiza un rendimiento constante durante periodos prolongados, lo que es especialmente importante para los procesos de recubrimiento en los que los procesos de estabilidad y tiempo de actividad son críticos.

3. Alta eficiencia energética: muchos modelos de nuestras bombas de vacío Roots multietapa están equipados con variadores de frecuencia, lo que reduce el consumo energético. Esto es especialmente importante en procesos de recubrimiento que a menudo funcionan de forma continua o en ciclos largos. En este caso, el ahorro de energía puede tener un impacto significativo en los costes de funcionamiento generales.

4. Durabilidad: estas bombas de vacío están diseñadas para manejar gases y condensación ligeramente corrosivos. Por ejemplo, el ACP 120 G está equipado con un sistema de válvula gas-ballast de nitrógeno, y la serie A4 cuenta con un recubrimiento anticorrosión, ideal para procesos de recubrimiento que involucran sustancias condensables o agresivas.

5. Diseño compacto: las bombas de vacío Roots multietapa compactas como las TORRI BD, A 100 L y A 200 L se pueden integrar fácilmente en los sistemas de semiconductores existentes. Este tamaño más reducido resulta especialmente ventajoso en configuraciones de recubrimiento en las que el espacio es limitado.

Tanto los boosters de vacío como las bombas de vacío Roots multietapa funcionan según el mismo principio probado Roots, utilizando al menos dos lóbulos de rotación opuesta para el transporte del medio bombeado a través del sistema. Sin embargo, difieren en su diseño y funcionamiento:

los boosters de vacío utilizados en combinación con una bomba primaria aumentan el caudal y mejoran el rendimiento de un sistema de vacío. A diferencia de una bomba de vacío convencional, no se comprime internamente el medio bombeado. En lugar de ello, transfiere el medio a una bomba primaria, donde tiene lugar la compresión real.

Por el contrario, las bombas de vacío Roots multietapa constan de varias etapas conectadas en serie. Comprimen el medio bombeado dentro de su cámara de compresión gradualmente a través de las etapas antes de salir de la bomba.