Modulable
Temps d'évacuation des sas de chargement le plus court
Efficace
Consommation d'énergie extrêmement faible, maintenance minimale, temps de fonctionnement élevé
Compacte
Exceptionnellement petite et légère
Caractéristiques techniques
Marchés et applications
R&D
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Recherche en photonique
Semi-conducteur
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PVD
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Inspection et métrologie
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Implantation ionique
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Lithographie
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Sas de chargement et transfert
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Recuit
Revêtement à couche mince
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Revêtement de laboratoire