A 100/200 L

Les pompes A 100 L et A 200 L sont nos pompes à vide à plusieurs étages compactes et empilables, conçues pour une installation parfaite dans les équipements et les sous-planchers des usines de semi-conducteurs. Grâce à leurs performances exceptionnelles et à leur efficacité énergétique, elles traitent rapidement et efficacement de grands volumes de gaz pendant des cycles de descente en pression rapides, ce qui se traduit par une productivité accrue et des coûts d’exploitation inférieurs comparé aux pompes à vide standard de leur catégorie. Cela en fait une solution idéale pour les applications à haut débit, en particulier dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs.

Le modèle A 100 L offre des temps de descente en pression rapides et des interfaces en option pour un contrôle et une surveillance facilités. La version économe en énergie réduit la pression à l’intérieur de la cellule de pompage, ce qui permet de réduire la consommation électrique jusqu'à 50%, mais également les vibrations et le niveau sonore.

Pour les applications nécessitant une solution plus puissante et un temps de descente en pression plus rapide, le modèle A 200 L offre une vitesse de pompage plus élevée tout en réduisant encore la consommation électrique. Avec des dimensions et des raccordements identiques, il peut facilement remplacer le modèle A 100 L lorsqu’une performance supérieure est requise, sans aucune modification du système. Un protocole de communication EtherCAT amélioré est disponible pour la pompe à vide A 200 L, permettant la communication avec des outils à la pointe de la technologie, tels que des équipements de fabrication de semi-conducteurs.