Série A4

La série A4 est équipée d'un moteur à haute efficacité énergétique avec variateur de vitesse, qui permet une flexibilité dans l'utilisation des pompes à vide afin de répondre aux exigences individuelles des différents procédés visés. Cette gamme comprend également un mode veille qui garantit que la pompe à vide fonctionne à la vitesse la plus basse entre chaque étape du procédé mais aussi lorsqu'il n'y a pas de procédé en cours et donc que le fonctionnement de la pompe à vitesse maximale n'est pas non plus nécessaire. Ces caractéristiques permettent de réaliser d’importantes économies d’énergie.

Grâce à des fonctions de surveillance sophistiquées qui contrôlent l'état de la pompe en temps réel, divers paramètres opérationnels de la série A4, tels que les niveaux de vibration, la pression et la détection de condensats, peuvent être consultés à l'aide d'un contrôleur de commande portable avec écran, fourni avec la pompe. Cela permet d'effectuer une maintenance préventive et de réduire les temps d’arrêt.

Une injection intégrée d'azote chaud à la sortie des pompes à vide A4 améliore la sécurité et l'efficacité du fonctionnement et garantit une dilution ciblée des gaz inflammables. Les régulateurs de débit et de pression assurent une surveillance continue de l’alimentation en azote et émettent des alertes en cas d’écarts. Le risque de formation de dépôts et de condensats peut être réduit, ce qui permet d'éviter efficacement l'obstruction de la conduite d'échappement, qui pourrait autrement entraîner des explosions.

En outre, les boosters de vide à plusieurs étages de la gamme Série 4 offrent des fonctionnalités avancées de contrôle de la température. Les chauffages intégrés maintiennent ces pompes à vide à une température définie, empêchant la condensation et les réactions chimiques indésirables pour garantir une qualité de procédé constante. Les fonctions de sécurité thermique intégrées coupent la puissance si la température du corps de la pompe à vide dépasse 100 °C, évitant ainsi toute surchauffe et tout dommage potentiel à la pompe à vide.

Au sein de la gamme de produits A4, trois versions différentes sont disponibles avec différentes résistances à la corrosion :

Les pompes à vide A4H sont conçues pour les procédés à complexité moyenne dans les industries des semi-conducteurs et des revêtements, tels que le dépôt en couche mince pour les cellules solaires. Avec une protection anticorrosion basique, elles offrent une meilleure tolérance aux particules, empêchent les dommages aux composants sensibles de la pompe et garantissent des performances robustes pour gérer ces types de procédés.

Dans les procédés de semi-conducteurs exigeants, tels que les applications de gravure de conducteurs et de polysilicium, la version A4X est résistante à la corrosion et fournit des solutions de pompage à sec fiables. Elle offre une protection anticorrosion améliorée par rapport aux pompes A4H grâce à des matériaux spéciaux qui protègent les rotors de la corrosion.

La version A4XN est idéale pour les applications corrosives extrêmes telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou le dépôt en couche atomique (ALD). Grâce à la technologie de revêtement en nickel XN développée par Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, toutes les pièces de la pompe à vide qui entrent en contact avec des gaz corrosifs sont protégées. Cela prolonge considérablement leur durée de vie, même dans les applications exigeantes.