Boosters de vide à plusieurs étages

Boosters de vide à plusieurs étages pour des applications propres

Les boosters de vide à plusieurs étages de Pfeiffer combinent une robustesse exceptionnelle et une fiabilité élevée. Ils sont parfaitement adaptés aux applications nécessitant un vide propre, sans huile et sans particules, comme dans la fabrication de semi-conducteurs ou le revêtement sous vide.

Solutions idéales pour les applications de vide propre

La série ACP, les A 100 L et A 200 L, ainsi que les pompes TORRI BD sont des solutions de pointe spécialement conçues pour les procédés propres exigeant une pureté et une fiabilité élevées.

Avec son variateur de vitesse, son système de refroidissement par air et ses exigences de maintenance minimales grâce à des jeux calibrés avec précision qui garantissent un fonctionnement sans contact, la série ACP offre des performances et une durabilité constantes. Ces caractéristiques permettent aux pompes à vide de fonctionner efficacement dans plusieurs versions. Chacune est optimisée pour des applications spécifiques : de la manutention de gaz propres et non corrosifs au procédé de traitement de traces de gaz corrosifs. Une soupape de lest d’air à l’intérieur de l’ACP améliore le pompage des gaz légers et empêche la condensation à l’intérieur de la pompe. Ensemble, ces qualités font de la série ACP la solution idéale pour les procédés de vide sec dans des secteurs tels que la fabrication de semi-conducteurs, les secteurs médical et pharmaceutique, ou encore la R&D.

Les séries A 100 L et A 200 L présentent une conception compacte et des options de connexion flexibles avec des entrées horizontales ou verticales, ce qui permet une intégration transparente dans les systèmes existants. Grâce à leurs performances exceptionnelles et à leur efficacité énergétique, elles sont capables de traiter rapidement de grands volumes de gaz, ce qui permet des cycles d’évacuation rapides et fréquents dans les sas de chargement et les chambres de transfert.

Les pompes à vide compactes TORRI BD constituent une autre solution pour les sas de chargement. Elles associent une efficacité énergétique élevée, une pression limite basse grâce à leur principe de fonctionnement reconnu et les meilleurs temps d’évacuation de la chambre.

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Boosters de vide à plusieurs étages pour applications chimiques difficiles

Dans les procédés de revêtement et de semi-conducteurs, il existe des applications exigeantes à extrêmement exigeantes, telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui nécessitent l’utilisation de produits chimiques hautement corrosifs et agressifs. Cela rend la protection anticorrosion et le contrôle de la température des pompes à vide tout aussi exigeants.

Pompes sèches extrêmement fiables pour procédés chimiques difficiles

Nos boosters de vide à plusieurs étages de la série 4 offrent une solution extrêmement fiable et efficace pour les procédés impliquant des gaz corrosifs et des produits chimiques agressifs. Grâce à l’utilisation de matériaux résistants à la corrosion, ces pompes à vide sont parfaitement adaptées à la manutention de gaz corrosifs tout en fournissant des performances constantes et fiables. Idéale pour les applications exigeantes telles que la gravure de semi-conducteurs, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et d’autres procédés chimiques difficiles, la série 4 garantit un fonctionnement fiable et une durabilité exceptionnelle.

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Un booster de vide à plusieurs étages est une pompe à déplacement positif conçue pour fournir un vide propre et sans huile. Le mélange pompé traverse plusieurs étages. Dans chaque étage, au moins deux lobes rotatifs opposés assurent le transport du mélange jusqu’à son évacuation à l’étage final. En utilisant plusieurs étages connectés en série, la pompe atteint des pressions différentielles plus élevées et des pressions limites plus basses qu’un booster de vide.

Leur conception robuste associée à des revêtements anticorrosion rendent les boosters de vide à plusieurs étages comme la série 4 de Pfeiffer très résistantes aux gaz et particules agressifs. Grâce à ces caractéristiques, ces pompes sont idéales pour les applications exigeantes nécessitant un vide propre et sec, telles que la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement sous vide, les sciences analytiques et la R&D.

Un booster de vide à plusieurs étages comprend plusieurs étages disposés en série. Chaque étage contient des lobes rotatifs qui assurent le transport du mélange pompé à travers la pompe. Des canaux de transfert régulent le débit du mélange entre les étages, et un engrenage synchronise le mouvement des lobes pour éviter tout contact entre eux ou avec le boîtier.

Le principe de fonctionnement peut être expliqué en trois étapes :

1. Admission (premier étage) :

2. Compression à plusieurs étages :


3. Échappement (étage final) :

Les boosters de vide à plusieurs étages sont spécialement conçus pour une large gamme de produits chimiques, y compris les substances corrosives et agressives. Des acides et solvants aux gaz et vapeurs, ces pompes gèrent efficacement et de manière fiable une multitude de composés chimiques. La série 4 de Pfeiffer présente une structure particulièrement robuste et des matériaux résistants à la corrosion, tels que des revêtements anticorrosion spéciaux. Associés à des fonctions de contrôle de la température telles que des chauffages intégrés, ils aident à prévenir la condensation et les réactions chimiques indésirables, telles que la création de sous-produits.

Le type de booster de vide à plusieurs étages requis dépend du procédé spécifique dans lequel il doit être utilisé. Différentes applications exigent des vitesses de pompage, des pressions limites, un débit d’aspiration et des capacités de manutention de gaz variables. Par exemple, dans la fabrication de semi-conducteurs, les boosters de vide à plusieurs étages compacts à haut débit sont préférés pour les cycles d’évacuation rapides. En revanche, les analyseurs de surface et les détecteurs de fuites peuvent nécessiter des versions avec des options d’orifice de gaz spécifiques. De plus, dans les accélérateurs de particules, des modèles avec résistance aux rayonnements sont essentiels. Par conséquent, il est crucial de comprendre les exigences uniques de chaque application pour sélectionner le booster de vide à plusieurs étages le plus approprié afin de garantir des performances et une efficacité optimales.

Les boosters de vide à plusieurs étages de Pfeiffer répondent aux exigences strictes des procédés de revêtement, ce qui en fait un excellent choix pour ces applications.

1. Vide propre et sec : les boosters de vide à plusieurs étages génèrent un vide propre et sec, ce qui est essentiel pour les procédés de revêtement afin d’éviter la contamination.

2. Fiabilité élevée : leur fonctionnement sans contact minimise l’usure et garantit des performances constantes sur de longues périodes, ce qui est particulièrement important pour les procédés de revêtement où la stabilité du procédé et le temps de disponibilité sont essentiels.

3. Haute efficacité énergétique : nombre de nos modèles de boosters de vide à plusieurs étages sont équipés de variateurs de vitesse, ce qui réduit la consommation d’énergie. Ceci est particulièrement important dans les procédés de revêtement qui fonctionnent souvent en continu ou en cycles longs. Ici, les économies d’énergie peuvent avoir un impact significatif sur les coûts d’exploitation globaux.

4. Durabilité : ces pompes à vide sont conçues pour prendre en charge les gaz légèrement corrosifs et la condensation. Par exemple, l’ACP 120 G est équipée d’un système de soupape de lest d’air à l’azote et la série A4 est dotée d’un revêtement anticorrosion, idéal pour les procédés de revêtement impliquant des substances condensables ou agressives.

5. Conception compacte : les boosters de vide à plusieurs étages compacts tels que les modèles TORRI BD, A 100 L et A 200 L peuvent être facilement intégrés aux systèmes à semi-conducteurs existants. Son faible encombrement est particulièrement avantageux dans les installations de revêtement où l’espace est limité.

Les boosters de vide et les boosters de vide à plusieurs étages fonctionnent selon le même principe roots reconnu, utilisant au moins deux lobes rotatifs opposés pour le transport du mélange pompé dans le système. Cependant, ils diffèrent par leur conception et leur fonction :

Un booster de vide utilisé en combinaison avec une pompe primaire augmente la vitesse de pompage et améliore les performances d’un système de vide. Contrairement à une pompe à vide conventionnelle, il ne comprime pas le mélange pompé. Au lieu de cela, il transfère le mélange vers une pompe primaire, où s'effectue la compression proprement dite.

Quant aux boosters de vide à plusieurs étages, ils se composent de plusieurs étages connectés en série. Il comprime graduellement le mélange pompé dans sa chambre de compression à travers les étages avant sa sortie de la pompe.